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英國VacTechniche 射頻等離子發(fā)生器 300W

簡要描述：英國VacTechniche 射頻等離子發(fā)生器 300W
聯(lián)系張經(jīng)理：I8721868549

  • 產(chǎn)品型號：RF 電源
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-09-11
  • 訪  問  量：139
產(chǎn)品分類PRODUCT

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英國VacTechniche 射頻等離子發(fā)生器 300W

射頻等離子發(fā)生器 300W

射頻發(fā)生器

用于 2“ 磁控濺射和等離子體生成

Vac Techniche Ltd 制造的用于濺射和等離子體發(fā)生器的射頻發(fā)生器是用于工業(yè)和實驗室沉積、等離子體生成甚至介電加熱和熔化的可靠設(shè)備。該器件也是半導體制造系統(tǒng)中最重要的組件之一，用于生產(chǎn)現(xiàn)代計算機和電子設(shè)備中的集成電路 （IC） 和芯片。Vac Techniche 射頻發(fā)生器及其阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成了一個完整的射頻等離子體發(fā)生組件。射頻發(fā)生器根據(jù)客戶設(shè)計和制造 27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz 或其他頻段。

英國VacTechniche 射頻等離子發(fā)生器 300W

特性和功能
  • 反射功率限制器
  • 風冷（DC 到 RF 轉(zhuǎn)換效率大于 70%）
  • 帶觸摸屏的圖形控制、顯示和調(diào)節(jié)系統(tǒng)
  • 各種保護類型（反射功率、過熱、過流和過壓），能夠自動限制發(fā)射功率
  • 用于遠程控制發(fā)電機輸出功率的 0-5 V 輸入電壓;大于 300 W 的型號的效率超過 90%
  • 傳輸功率和反射功率值的模擬輸出
  • 輸出功率閉環(huán)控制，隨時間穩(wěn)定調(diào)整后的功率
  • 足夠的屏蔽以防止輻射和 EMI 噪聲，并采取必要措施來保護操作員的健康
  • 機架式包裝盒

英國VacTechniche 射頻等離子發(fā)生器 300W

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